ما هو ترسيب البخار الفيزيائي (PVD)

ترسيب البخار المادي (PVD) هي تقنية تبخر سطح المواد (صلبة أو سائلة) إلى ذرات غازية أو جزيئات أو متأينة جزئيًا إلى أيونات بالطرق الفيزيائية (التبخر ، الرش ، إلخ) في الفراغ ، وترسب أغشية رقيقة بوظائف معينة على سطح الركيزة من خلال عملية الغاز ذات الضغط المنخفض (أو البلازما). تشمل أنواع ترسيب البخار الفيزيائي بشكل أساسي التبخر بالفراغ ، والرش ، والطلاء الأيوني ، وما إلى ذلك. تستخدم هذه العملية على نطاق واسع لإعداد طلاء الألواح ثنائية القطب من الفولاذ المقاوم للصدأ بسبب تشغيلها البسيط ، وحماية البيئة ، وعدم التلوث ، وقلة المواد الاستهلاكية ، والأداء الممتاز للفيلم . يتم وصف اثنين من هذه التقنيات أدناه.

1.طلاء الاخرق الفراغ

مع طلب الصناعة وتطور تكنولوجيا السطح ، تم تطوير وتطبيق تقنية طلاء الرش بالتفريغ بشكل كبير. وفقًا لطرق الاخرق المختلفة ، يمكن تقسيم الاخرق الفراغي إلى ترشيش الصمام الثنائي المستمر ، الاخرق المغنطروني وطرق أخرى. يشيع استخدام الاخرق المغنطروني في طلاء الرش الفراغي. الاخرق المغنطروني الجديد ، مثل الاخرق عالي السرعة والخرق الذاتي ، أصبح اتجاهًا جديدًا للتطور في مجال الاخرق المغنطروني. نظرًا لقيود حجم الفولاذ المقاوم للصدأ ، فإن أهداف الطلاء المتطاير هي أساسًا قضبان أو أسلاك ، ومواد الفيلم المترسبة هي في الغالب أغشية معدنية أو سبائك ، والعديد من طرق الطلاء تستخدم الاخرق بمساعدة المجال المغناطيسي.

يمكن ترسيب فيلم القصدير في أنبوب الفولاذ المقاوم للصدأ عن طريق تقنية الطلاء بالرشاشات DC ، أي أن نطاق جهد التفريغ هو 80 ~ 90 PA ، ودرجة حرارة الركيزة للأنبوب المطلي هي 160 ~ 180 ℃. يمكن الحصول على فيلم القصدير عالي الجودة والموحد والذهبي على الركيزة لأنبوب الفراغ الفولاذي المقاوم للصدأ. يمكن تطبيقه بالكامل على الإنتاج الصناعي ومعالجة غرفة فراغ الأنبوب النحيف المسرع. بالإضافة إلى ذلك ، يمكن تحضير سيراميك أكسيد الألومنيوم عن طريق رش المغنطرون التفاعلي DC على سطح الركيزة المصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ YBiO3 ، والتي تستخدم بشكل أساسي في مجال الأدوات الطبية والجراحية. من أجل تحضير أفلام TiO2 عالية الفعالية والقوية ، تُستخدم تقنية رش المغنطرون DC أيضًا لإيداع أغشية TiO2 على سطح الفولاذ المقاوم للصدأ.

2.تصفيح أيون الفراغ

تتأين جزيئات المواد المتبخرة بتأثير الإلكترون وترسب على السطح الصلب بالأيونات ، وهو ما يسمى بالطلاء الأيوني. تم اقتراح هذه التقنية من قبل د. ماتوكس في عام 1963. الطلاء الأيوني هو مزيج من تقنية التبخير بالفراغ وتقنية الرش بالكاثود. لذلك ، فإن عملية الطلاء الأيوني تجمع بين خصائص التبخر (معدل الترسيب العالي) وعمليات الرش (التصاق جيد للفيلم) ، ولها حيود جيد. يمكنها طلاء قطع العمل بأشكال معقدة ، وتستخدم على نطاق واسع في الإنتاج الصناعي للأداة المقاومة للتآكل ، المقاومة للأكسدة بدرجات الحرارة العالية وتقوية السطح بالقالب. قام فريق بإعداد فيلم الكروم الصلب على سطح الركيزة الفولاذية المقاومة للصدأ عن طريق الطلاء الأيوني الفراغي.

تُظهر التجربة أن تقنية طلاء الكروم الصلب بالطلاء الأيوني على الفولاذ المقاوم للصدأ صديقة للبيئة ، وطبقة الكروم الصلبة المحضرة تتميز بصلابة عالية ومقاومة ممتازة للتآكل ومقاومة التآكل والالتصاق القوي. إنها تقنية بديلة مثالية لتقنية طلاء الكروم التقليدية. بالإضافة إلى ذلك ، يمكن استخدام تقنية الطلاء متعدد الأيونات لتحضير أفلام التشنج اللاإرادي والقصدير على ألواح ثنائية القطب من الفولاذ المقاوم للصدأ ، والتي يمكن أن تلبي متطلبات مقاومة التآكل للألواح ثنائية القطب ، كما أن ضغط القناة له تأثير ضئيل على مقاومة التآكل للألواح ثنائية القطب.